（中央社记者张建中新竹31日电）美商英特格(Entegris)扩大在台湾投资，将投资600万美元，约新台币1.8亿元，因应先进制程及关键半导体制程在产量、可靠度与性能方面的需求。
英特格指出，这次扩大台湾投资，除将扩建新竹厂房，提升化学机械研磨(CMP)过滤器用的奈米熔喷滤芯产能，并导入高灵敏度晶圆检测系统及涂布机等。
随着高灵敏度晶圆检测系统导入，英特格在台湾的晶圆检测能力将可扩及19奈米，将有利新产品开发，及改善产品性能。
英特格表示，台湾技术研发中心自2006年成立，过去28年来不断扩大在台湾的业务，这次扩大在台湾投资，主要希望强化在地开发能力，满足客户先进及关键制程可靠度与性能的需求。
除新竹厂外，英特格也于桃园杨梅及新竹湖口设厂，提供包括CMP及先进微污染控制过滤器和高密度聚乙烯统等多元产品，与泵浦维修、静电吸盘镀膜及晶圆清洁等服务。（编辑：杨凯翔）1070831
美商英特格斥资1.8亿元扩大投资台湾
发布时间：2024-11-23
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