台积电积极发展工业废水再生技术，预计于民国110年启动南科园区工业废水再生工程，导入工业再生水做为晶圆制程用水，至112年每天将达2万吨再生水。

台积电表示，内部不断透过“开源”与“节流”并行的方针强化用水效率，采取水资源风险管理、拓展多元水资源及水污染防治技术开发3大水管理策略。

为拓展多元水资源，台积电104年起积极发展再生水技术，成功降低厂内废水水质相关因子，目前自产所得的再生水，不只达到半导体制程用水标准，排放水质也符合法规放流规定。

台积电今年进一步与南部科学园区管理局签约，促建“台积电南科再生水厂”，预计明年启动园区工业废水再生工程，导入工业再生水做为台积电晶圆制程用水。

台积电指出，初期规划每天可供给再生水约0.5万吨，112年每天则将增加至2万吨再生水。

台积电同时全力支持-再生水政策，除提供-再生水制程相关专业意见与推行经验，并将采购再生水，预计113年每天将购买永康及安平两处再生水厂生产的再生水共4.7万吨。